ПЕРЕЧЕНЬ ОБОРУДОВАНИЯ

Установка для микротравления Veeco 7760

Установка для микротравления Veeco 7760

Страна:  США

Изготовитель:  Veeco Instruments

Марка:  7760

Год:  1998

Адрес размещения:  ул.Университетская, 10, Наноцентр ПетрГУ (чистые помещения)

Ответственный за установку:  доцент, кандидат физ.-мат. наук, Черемисин Александр Борисович, телефон: (8142) 719658

Утановка ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ – магнетроном на базе УРМ-3.279.02 - предназначена для напыления объектов с помощью ВЧ магнетронного распыления.

Прибор может быть применён для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.

Остаточное давление в высоковакуумном объёме при охлаждёнии ловушки жидким азотом 1,3х10–3Па

Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя 3 кВ

Максимальный ток тлеющего разряда 300 мА

Габаритные размеры, не более, мм 130х85х200

Масса прибора, не более 800 кг

Возврат к списку