Страна: США
Изготовитель: Veeco Instruments
Марка: 7760
Год: 1998
Адрес размещения: ул.Университетская, 10, Наноцентр ПетрГУ (чистые помещения)
Ответственный за установку: доцент, кандидат физ.-мат. наук, Черемисин Александр Борисович, телефон: (8142) 719658
Утановка ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ – магнетроном на базе УРМ-3.279.02 - предназначена для напыления объектов с помощью ВЧ магнетронного распыления.
Прибор может быть применён для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.
Остаточное давление в высоковакуумном объёме при охлаждёнии ловушки жидким азотом 1,3х10–3Па
Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя 3 кВ
Максимальный ток тлеющего разряда 300 мА
Габаритные размеры, не более, мм 130х85х200
Масса прибора, не более 800 кг