ПЕРЕЧЕНЬ ОБОРУДОВАНИЯ

Высоковакуумная установка магнетронного осаждения АТС ORION-5

Высоковакуумная установка магнетронного осаждения АТС ORION-5

Страна:  США

Изготовитель:  AJA Int.

Марка:  ORION-5

Год:  2012

Адрес размещения:  ул.Университетская, 10, Наноцентр ПетрГУ (чистые помещения)

Ответственный за установку:  доцент, кандидат физ.-мат. наук, Черемисин Александр Борисович, телефон: (8142) 719658

Установка разработана специально для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) и др.

Система безмасляной откачки обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий. Предельное остаточное давление - 1*10-7 мБар.

Специально разработанная конструкция вакуумной камеры для оптимизации процесса в малом объёме. Выполнена из нержавеющей стали, обеспечивает распыление сверху вниз.

Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий

Съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов.

Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца.

Возврат к списку