ПЕРЕЧЕНЬ ОБОРУДОВАНИЯ
Высоковакуумная установка магнетронного осаждения АТС ORION-5
Страна: США
Изготовитель: AJA Int.
Марка: ORION-5
Год: 2012
Адрес размещения: ул.Университетская, 10, Наноцентр ПетрГУ (чистые помещения)
Ответственный за установку: доцент, кандидат физ.-мат. наук, Черемисин Александр Борисович, телефон: (8142) 719658
Установка разработана специально для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) и др.
Система безмасляной откачки обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий. Предельное остаточное давление - 1*10-7 мБар.
Специально разработанная конструкция вакуумной камеры для оптимизации процесса в малом объёме. Выполнена из нержавеющей стали, обеспечивает распыление сверху вниз.
Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий
Съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов.
Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца.