Сканирующий электронный микроскоп с ЭДС спектрометром HitachiSU1510 совместно с модулями пробоподготовки, напыления металлов и охлаждения/нагрева образцов

Cканирующий электронный микроскоп использует in-lens технологию для получения как сверхвысокого разрешения, так высокой чувствительности EDS анализа.

Электронная пушка – полевая эмиссия с холодным катодом, ускоряющее напряжение – 5-30 кВ.

Микроскоп оборудован EDS спектрометром, позволяет проводить рентгено- флуоресцентный анализ и картирование образца.

Разрешение 3 нм (глубокий вакуум) и 4 нм (при 270 Па).

Моторизованный столик образца с возможностью перемещения по 5 осям, наклоном образца от -20 до +90 градусов.

Можно исследовать образец диаметром до 153 мм.

Новый дизайн камеры образца оптимизирован для одновременной установки и использования EDS, WDS и EBSD детекторов.

Турбомолекулярный насос позволяет сократить время необходимое для замены образца до 90 секунд и делает ненужным водяной контур.