ПЕРЕЧЕНЬ ОБОРУДОВАНИЯ
Литографическая система NanoMaker-Writer
Страна: Россия
Изготовитель: Interface Ltd
Марка: NanoMaker-Writer
Год: 2016
Адрес размещения: ул.Университетская, 10, каб. 100
Ответственный за установку: доцент, кандидат физ.-мат. наук, Величко Андрей Александрович, телефон: (8142) 719658
NanoMaker - это литографическая система, предназначенная для проектирования 2D и 3D структур и их экспонирования на электронных (SEM), ионных (FIB) микроскопах и промышленных литографах.
NanoMaker предоставляет уникальные методы и технологии создания микро- и наноструктур, проверенные более чем 20-ти летним опытом эксплуатации:
- содержит графический редактор, позволяющий проектировать иерархические литографические структуры практически любого размера и любой сложности;
- оптимизирует дозу (время) экспонирования, учитывая эффект близости для 2D/3D структур и рассчитывает другие параметры процесса таким образом, что гарантирует 100% результат за одну литографию;
- моделирует проявление резиста;
- компенсирует дисторсию отклоняющей системы микроскопа при работе в большом поле;
- значительно сокращает общее время экспонирования за счет активной компенсации динамических ошибок отклоняющей системы микроскопа;
- позволяет экспонировать без бланкера;
- включает Монте Карло моделирование для расчета параметров эффекта близости в случае многослойных подложек;
- может использоваться как диагностический инструмент для получения с высоким разрешением панорамных изображений поверхности пространных микро-объектов. Например, для фотографирования топологии при обратном проектировании Интегральных Схем (IC);
- сделан в России.