ПЕРЕЧЕНЬ ОБОРУДОВАНИЯ
Измерительный модуль экспериментальной установки контроля качества гибридных многокристальных микросхем
Страна: Япония
Изготовитель: Hitachi
Марка: TM3030 Plus
Год: 2019
Адрес размещения: Обособленное подразделение «Промплощадка» ПетрГУ в г. Гусеве, Калининградская область, Гусевский район, г. Гусев, ул. Индустриальная, д. 11
Ответственный за установку: ведущий инженер Центра проектирования многокристальных модулей Ярцев Алексей Васильевич
В комплекте: термошкаф, блок питания, измеритель ЭДС, электронный микроскоп. Предназначен для контроля качества процесса производства гибридных многокристальных микросхем. Технические характеристики электронного микроскопа:
Увеличение: х15-30 000
Ускоряющее напряжение : 5 кВ, 15 кВ
Перемещение столика : Х: ±35 мм, Y: ± 35 мм
Разрешение: 30 нм
Макс. размер образца: 70 мм в диаметре, 50 мм в высоту
Габариты: 33х60х56 см, 65 кг.